Influence of plasma ionization on the elastic modulus and tribology behavior of carbon films deposited by the HiPIMS technique

This work reveals the influence of discharge current on carbon-ion energies of plasma, elastic modulus, and friction coefficient at the nano- and macroscale of carbon films deposited via high-power impulse magnetron sputtering. Three applied discharge current conditions in deposition processes were...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Ceramics international Jg. 49; H. 2; S. 2427 - 2439
Hauptverfasser:	Rivera-Tello, César D., Flores-Ruiz, Francisco J., Flores-Jiménez, M., Flores, M.
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Elsevier Ltd 15.01.2023
Schlagworte:	Bonding structure Carbon-ion-energies Elastic modulus Ion-energy-distribution-function Tribology Elastic modulus Carbon-ion-energies Ion-energy-distribution-function Bonding structure Tribology
ISSN:	0272-8842, 1873-3956
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!