Fabrication and characterization of nickel thin film as resistance temperature detector

In practical applications, thin film resistance temperature detectors (RTD) are often used in the environments that the attached substrates cannot stand high temperature. Therefore, it is necessary to prepare thin film RTDs by a low temperature process. In this study, the fabrication of nickel (Ni)...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Vacuum Ročník 176; s. 109288
Hlavní autoři:	Cui, Jinting, Liu, Hao, Li, Xingliang, Jiang, Shuwen, Zhang, Bin, Song, Ying, Zhang, Wanli
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Elsevier Ltd 01.06.2020
Témata:	Ni film RTD Room temperature preparation TCR value Temperature sensor Temperature sensor TCR value Ni film RTD Room temperature preparation
ISSN:	0042-207X, 1879-2715
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!