Mueller Matrix Ellipsometric Approach on the Imaging of Sub-Wavelength Nanostructures

Conventional spectroscopic ellipsometry is a powerful tool in optical metrology. However, when it comes to the characterization of non-periodic nanostructures or structured fields that are much smaller than the illumination spot size, it is not well suited as it integrates the results over the whole...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Frontiers in physics Ročník 9
Hlavní autoři:	Käseberg, Tim, Grundmann, Jana, Siefke, Thomas, Klapetek, Petr, Valtr, Miroslav, Kroker, Stefanie, Bodermann, Bernd
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Frontiers Media S.A 21.01.2022
Témata:	ellipsometry imaging ellipsometry metrology mueller ellipsometry nanometrology nanostructures
ISSN:	2296-424X, 2296-424X
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!