Scheduling Single-Arm Cluster Tools With an Equipment Front-End Module Subject to Wafer Residency Time Constraints

Semiconductor manufacturing widely employs cluster tools that comprise three critical components: a vacuum module (VM), a loadlock module (LLM), and an equipment front-end module (EFEM). In operating such tools, LLM plays a pivotal role. Additionally, wafer fabrication in VM faces strict wafer resid...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	IEEE transactions on automation science and engineering Ročník 22; s. 9544 - 9558
Hlavní autoři:	Huang, BaoYing, Wu, NaiQi, Qiao, Yan, Guo, WeiWen
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	IEEE 01.01.2025
Témata:	cluster tools Clustering algorithms Job shop scheduling Loading Optimal scheduling Petri nets Robot kinematics Schedules scheduling Semiconductor manufacturing Time factors Transportation
ISSN:	1545-5955, 1558-3783
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!