Optimal Estimation of Rational Feedforward Control via Instrumental Variables: With Application to a Wafer Stage

Iterative control enables a significant control performance enhancement by learning feedforward command signals from previous tasks in a batch‐to‐batch fashion. The aim of this paper is to develop an approach to estimate the parameters of rational feedforward controllers that provide high performanc...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Asian journal of control Ročník 20; číslo 3; s. 975 - 992
Hlavní autoři:	Boeren, Frank, Blanken, Lennart, Bruijnen, Dennis, Oomen, Tom
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Hoboken Wiley Subscription Services, Inc 01.05.2018
Témata:	Actuation Computer simulation Control systems Control theory Controllers Economic models Feedforward control learning control mechatronics Parameter estimation Performance enhancement
ISSN:	1561-8625, 1934-6093
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!