Effect of processing conditions on residual stress in sputtered transition metal nitrides (TiN, ZrN and TaN): Experiments and modeling

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Vydáno v:Surface & coatings technology Ročník 447; s. 128880
Hlavní autoři: Rao, Zhaoxia, Su, Tong, Koenig, Thomas, Thompson, Gregory B., Depla, Diederik, Chason, Eric
Médium: Journal Article
Jazyk:angličtina
Vydáno: 15.10.2022
ISSN:0257-8972
On-line přístup:Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Popis
ISSN:0257-8972
DOI:10.1016/j.surfcoat.2022.128880