Effect of processing conditions on residual stress in sputtered transition metal nitrides (TiN, ZrN and TaN): Experiments and modeling

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Surface & coatings technology Jg. 447; S. 128880
Hauptverfasser:	Rao, Zhaoxia, Su, Tong, Koenig, Thomas, Thompson, Gregory B., Depla, Diederik, Chason, Eric
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	15.10.2022
ISSN:	0257-8972
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
ISSN:	0257-8972
DOI:	10.1016/j.surfcoat.2022.128880