Effect of processing conditions on residual stress in sputtered transition metal nitrides (TiN, ZrN and TaN): Experiments and modeling

Uložené v:

Podrobná bibliografia
Vydané v:	Surface & coatings technology Ročník 447; s. 128880
Hlavní autori:	Rao, Zhaoxia, Su, Tong, Koenig, Thomas, Thompson, Gregory B., Depla, Diederik, Chason, Eric
Médium:	Journal Article
Jazyk:	English
Vydavateľské údaje:	15.10.2022
ISSN:	0257-8972
On-line prístup:	Získať plný text
Tagy:	Pridať tag Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!

Popis
ISSN:	0257-8972
DOI:	10.1016/j.surfcoat.2022.128880