An Efficient Binary Integer Programming Model for Residency Time-Constrained Cluster Tools With Chamber Cleaning Requirements

Cluster tools play a significant role in the entire process of wafer fabrication. As the width of circuits in semiconductor chips shrinks down to less than 10nm, strict operational constraints are imposed on the operations of cluster tools in order to ensure the quality of processed wafers. Particul...

Celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Vydáno v:	IEEE transactions on automation science and engineering Ročník 19; číslo 3; s. 1 - 15
Hlavní autoři:	Qiao, Yan, Lu, Yanjun, Li, Jie, Zhang, Siwei, Wu, Naiqi, Liu, Bin
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	New York IEEE 01.07.2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. (IEEE)
Témata:	Chamber cleaning Chambers Chemical vapor deposition Cleaning cluster tools Clusters Constraints Cycle time Delays Integer programming Robots Schedules Scheduling semiconductor manufacturing Task analysis Time factors wafer fabrication Wafers
ISSN:	1545-5955, 1558-3783
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!