Investigation of the Effects of Random Vibration on the Characteristics of Micromechanical Accelerometers

For modern information, measuring, and optoelectronic systems based on micro- and nanomechanical sensors of angular velocity and linear acceleration, it is important to ensure their stable functioning in the presence of external factors. The paper presents the results of a study of the effect of a r...

Celý popis

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Vydáno v:	Russian microelectronics Ročník 49; číslo 7; s. 532 - 537
Hlavní autoři:	Thura, Aung, Simonov, B. M., Tymoshenkov, S. P.
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	Moscow Pleiades Publishing 01.12.2020 Springer Nature B.V
Témata:	Acceleration Accelerometers Angular velocity CAD Computer aided design Crystallography Deformation Design improvements Electrical Engineering Engineering Optoelectronics Orientation effects Random vibration Silicon Vibration measurement random vibration the spectral density profile of the signal acceleration sensitive element crystallographic orientation of silicon
ISSN:	1063-7397, 1608-3415
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Buďte první, kdo okomentuje tento záznam!