Influence of nano-sized horizontal inhomogeneities on surface profiling by means of XPS

Quantitative analysis of thin films surface is performed by means of X-ray electron spectroscopy (XPS) according to a calculation model assuming surface layers of the target to be homogeneous and parallel. However, almost every surface of an ultra-thin film is rough. A study of such surface using th...

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Veröffentlicht in:	Nauchno-tekhnicheskiĭ vestnik informat͡s︡ionnykh tekhnologiĭ, mekhaniki i optiki Jg. 22; H. 6; S. 1104 - 1111
Hauptverfasser:	Lukyantsev, D.S., Lubenchenko, A.V., Ivanov, D.A., Lubenchenko, O.I., Fedotov, A.S.
Format:	Journal Article
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	ITMO University 01.12.2024
Schlagworte:	горизонтальные неоднородности наноразмерные пленки послойный фазовый анализ рфэс шероховатость поверхности
ISSN:	2226-1494, 2500-0373
Online-Zugang:	Volltext
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