Influence of nano-sized horizontal inhomogeneities on surface profiling by means of XPS

Quantitative analysis of thin films surface is performed by means of X-ray electron spectroscopy (XPS) according to a calculation model assuming surface layers of the target to be homogeneous and parallel. However, almost every surface of an ultra-thin film is rough. A study of such surface using th...

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Nauchno-tekhnicheskiĭ vestnik informat͡s︡ionnykh tekhnologiĭ, mekhaniki i optiki Ročník 22; číslo 6; s. 1104 - 1111
Hlavní autoři:	Lukyantsev, D.S., Lubenchenko, A.V., Ivanov, D.A., Lubenchenko, O.I., Fedotov, A.S.
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina
Vydáno:	ITMO University 01.12.2024
Témata:	горизонтальные неоднородности наноразмерные пленки послойный фазовый анализ рфэс шероховатость поверхности
ISSN:	2226-1494, 2500-0373
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!