ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ

Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт....

Celý popis

Podrobná bibliografia

Vydané v:	Ползуновский вестник číslo 1; s. 247 - 250
Hlavní autori:	Неустроев, Ефим Петрович, Куркина, Ирина Ивановна, Николаев, Данил Валериевич
Médium:	Journal Article
Jazyk:	English Russian
Vydavateľské údaje:	Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова 14.04.2025
Predmet:	графен, плазма, метан, осаждение углерода, углеродная пленка, термообработка, травление в плазме кислорода, морфология поверхности
ISSN:	2072-8921, 3034-3941
On-line prístup:	Získať plný text
Tagy:	Pridať tag Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!