ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ

Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт....

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Ползуновский вестник no. 1; pp. 247 - 250
Main Authors:	Неустроев, Ефим Петрович, Куркина, Ирина Ивановна, Николаев, Данил Валериевич
Format:	Journal Article
Language:	English Russian
Published:	Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова 14.04.2025
Subjects:	графен, плазма, метан, осаждение углерода, углеродная пленка, термообработка, травление в плазме кислорода, морфология поверхности
ISSN:	2072-8921, 3034-3941
Online Access:	Get full text
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!