ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ

Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт....

Celý popis

Podrobná bibliografie

Vydáno v:	Ползуновский вестник číslo 1; s. 247 - 250
Hlavní autoři:	Неустроев, Ефим Петрович, Куркина, Ирина Ивановна, Николаев, Данил Валериевич
Médium:	Journal Article
Jazyk:	angličtina ruština
Vydáno:	Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова 14.04.2025
Témata:	графен, плазма, метан, осаждение углерода, углеродная пленка, термообработка, травление в плазме кислорода, морфология поверхности
ISSN:	2072-8921, 3034-3941
On-line přístup:	Získat plný text
Tagy:	Přidat tag Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!