ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ

Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт....

Celý popis

Uložené v:
Podrobná bibliografia
Vydané v:Ползуновский вестник číslo 1; s. 247 - 250
Hlavní autori: Неустроев, Ефим Петрович, Куркина, Ирина Ивановна, Николаев, Данил Валериевич
Médium: Journal Article
Jazyk:English
Russian
Vydavateľské údaje: Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова 14.04.2025
Predmet:
графен, плазма, метан, осаждение углерода, углеродная пленка, термообработка, травление в плазме кислорода, морфология поверхности
ISSN:2072-8921, 3034-3941
On-line prístup:Získať plný text
Tagy: Pridať tag
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
Abstract Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт. Длительность процесса осаждения в плазме метана составляло от 3 до 6 мин. Термообработки проведены в атмосфере инертного газа при температурах от 750 оС до 800 оС длительностью до 25 мин. Для характеризации поверхности использованы методы атомной силовой микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Исследования методом атомно-силовой микроскопии показали, что предложенная методика позволяет успешно формировать углеродные пленки толщиной несколько десятков нанометров на поверхности исходной графеновой пленки, полученной методом газофазового осаждения. После травления в плазме кислорода мощностью 200 Вт и длительностью до 30 с синтезированнной структуры   формируются пленки нанометровых толщин с шероховатостью поверхности около 0,5 нм. Наблюдаемые в исходной графеновой пленке складки высотой от единиц до десятков нанометров на поверхности сформированных образцов не обнаружены.    Из анализа спектров комбинационного рассеяния света следует, что после травления в плазме кислорода синтезированных структур до исходных толщин графеновых пленок имеет место восстановление основных графеновых G- и 2D-пиков в спектрах. Можно отметить некоторое возрастание интегральной интенсивности D-полосы, обусловленной наличием дефектов и нарушений в кристаллической решетке, которое частично может быть устранено термической обработкой.
AbstractList Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в плазме метана и термообработку. Для осаждения атомов углерода использован радиочастотный индуктивно связанный источник плазмы мощностью 200 Вт. Длительность процесса осаждения в плазме метана составляло от 3 до 6 мин. Термообработки проведены в атмосфере инертного газа при температурах от 750 оС до 800 оС длительностью до 25 мин. Для характеризации поверхности использованы методы атомной силовой микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Исследования методом атомно-силовой микроскопии показали, что предложенная методика позволяет успешно формировать углеродные пленки толщиной несколько десятков нанометров на поверхности исходной графеновой пленки, полученной методом газофазового осаждения. После травления в плазме кислорода мощностью 200 Вт и длительностью до 30 с синтезированнной структуры   формируются пленки нанометровых толщин с шероховатостью поверхности около 0,5 нм. Наблюдаемые в исходной графеновой пленке складки высотой от единиц до десятков нанометров на поверхности сформированных образцов не обнаружены.    Из анализа спектров комбинационного рассеяния света следует, что после травления в плазме кислорода синтезированных структур до исходных толщин графеновых пленок имеет место восстановление основных графеновых G- и 2D-пиков в спектрах. Можно отметить некоторое возрастание интегральной интенсивности D-полосы, обусловленной наличием дефектов и нарушений в кристаллической решетке, которое частично может быть устранено термической обработкой.
Author Неустроев, Ефим Петрович
Куркина, Ирина Ивановна
Николаев, Данил Валериевич
Author_xml – sequence: 1
  givenname: Ефим Петрович
  surname: Неустроев
  fullname: Неустроев, Ефим Петрович
– sequence: 2
  givenname: Ирина Ивановна
  surname: Куркина
  fullname: Куркина, Ирина Ивановна
– sequence: 3
  givenname: Данил Валериевич
  surname: Николаев
  fullname: Николаев, Данил Валериевич
BookMark eNo9kc1O3DAUha0KJAbKO0TqOoP_4iTqCqHSIiF1AawtO3HQIEqqpJu-RWA6dKAhwEAXrHiV-0hce4CNfXTu8XctnXWyclafOUI-MTrmScr41vbB4dGY05THWc4ZKp6MKRtTwT-QkaBCxiKXbIWM3jNrZLNtTyilPGecq2REAB5hgDvoYY7nABfQwQ3qWQR_UT6hXKAxwFUEDzCFfzALuT9v5m2wbuAa5hFenXeGGDk-9z-k7hGBwykaHa6bLWM9ikUgDdAvOR3u7MPcP5vCEIXXHVxiahb-9Rx51CLQe5wOcB6w56gW_hMfyWplTlu3-XpvkKPdL4c73-L971_3drb344KxrIjLQpnE8cxVZUGN5ZQJppTMc8bKPLWlKI3NpKVCKZ7YQlmpKqsEE8rmlZOZ2CB7S25ZmxP9s5n8MM1vXZuJDkbdHGvT_JoUp07LUkplrXHWUZmpHLfJKnVpxVSF6wtkfV6yiqZu28ZV7zxGdeha-66171H7HrXvWlOmsWvxAvkw5H8
ContentType Journal Article
DBID AAYXX
CITATION
DOA
DOI 10.25712/ASTU.2072-8921.2025.01.032
DatabaseName CrossRef
DOAJ Directory of Open Access Journals
DatabaseTitle CrossRef
DatabaseTitleList
CrossRef
Database_xml – sequence: 1
  dbid: DOA
  name: DOAJ Directory of Open Access Journals
  url: https://www.doaj.org/
  sourceTypes: Open Website
DeliveryMethod fulltext_linktorsrc
EISSN 3034-3941
EndPage 250
ExternalDocumentID oai_doaj_org_article_4d446bbaebe04869b204f7e7f16ffdcc
10_25712_ASTU_2072_8921_2025_01_032
GroupedDBID AAYXX
ALMA_UNASSIGNED_HOLDINGS
CITATION
GROUPED_DOAJ
ID FETCH-LOGICAL-c118c-dc6a5e28efdc0ab201316649911d97bd3dab84b036625bc6b46fb63136b9fe483
IEDL.DBID DOA
ISSN 2072-8921
IngestDate Fri Oct 03 12:51:03 EDT 2025
Sat Nov 29 07:59:55 EST 2025
IsDoiOpenAccess true
IsOpenAccess true
IsPeerReviewed true
IsScholarly true
Issue 1
Language English
Russian
LinkModel DirectLink
MergedId FETCHMERGED-LOGICAL-c118c-dc6a5e28efdc0ab201316649911d97bd3dab84b036625bc6b46fb63136b9fe483
OpenAccessLink https://doaj.org/article/4d446bbaebe04869b204f7e7f16ffdcc
PageCount 4
ParticipantIDs doaj_primary_oai_doaj_org_article_4d446bbaebe04869b204f7e7f16ffdcc
crossref_primary_10_25712_ASTU_2072_8921_2025_01_032
PublicationCentury 2000
PublicationDate 2025-04-14
PublicationDateYYYYMMDD 2025-04-14
PublicationDate_xml – month: 04
  year: 2025
  text: 2025-04-14
  day: 14
PublicationDecade 2020
PublicationTitle Ползуновский вестник
PublicationYear 2025
Publisher Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова
Publisher_xml – name: Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова
SSID ssj0002912265
Score 2.288782
Snippet Предложена методика формирования защитного углеродного слоя для графеновых пленок на основе двухстадийного процесса, включающего осаждение атомов углерода в...
SourceID doaj
crossref
SourceType Open Website
Index Database
StartPage 247
SubjectTerms графен, плазма, метан, осаждение углерода, углеродная пленка, термообработка, травление в плазме кислорода, морфология поверхности
Title ФОРМИРОВАНИЕ ЗАЩИТНОЙ УГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ НА ПО-ВЕРХНОСТИ ГРАФЕНА МЕТОДОМ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ТЕРМООБРАБОТКИ
URI https://doaj.org/article/4d446bbaebe04869b204f7e7f16ffdcc
hasFullText 1
inHoldings 1
isFullTextHit
isPrint
journalDatabaseRights – providerCode: PRVAON
  databaseName: DOAJ Directory of Open Access Journals
  customDbUrl:
  eissn: 3034-3941
  dateEnd: 99991231
  omitProxy: false
  ssIdentifier: ssj0002912265
  issn: 2072-8921
  databaseCode: DOA
  dateStart: 20210101
  isFulltext: true
  titleUrlDefault: https://www.doaj.org/
  providerName: Directory of Open Access Journals
link http://cvtisr.summon.serialssolutions.com/2.0.0/link/0/eLvHCXMwrV3NbtQwELZQVSEuiAoQ5aeKBNfQdX7s5FhQK04VB5B6s2zHkbgsqBSeI-2yUCANsMCBE68yj8Q3zrZaTly4JKPxeGz5sz0zsjUW4kFVts7DD03LIDM-ZgyptVh4pavrFu5E0M7Hxyb0_n51cFA_XXnqi--EjemBx4HbLhoELM5ZNMbZ4WqXTYpWB91K1baN97z7wutZCaZ4D85qCb-C7y9mE40lX2fysrjP955LLbPtHbhbDy9KQGVj8s48-8s8rWTxj-Zm75q4uvQTk52xfxviUpheF0Q_aKCv1NMpvgOdUEdnoOcJfQD5C-QCjIE-JvSdZvSZ5lHu3TnzS2Sd0Sc6TfDrmDOk0MNyP6PUN6hA4QyMDs3NR7EexCJqGqgf9XRos4_lXG1GQxJrd_QeUvPYr98Jq1pE7T1KBzqOao9BLbgTN8Tzvd1nj5-kyycZUo9IxKeNV7YMWRUw9BMLLGQulULUJGVTa9fkjXVV4WAWEVc5r1yhWqdymStXt6Go8ptibfpyGm6JxCJyhPuitHW6sMrWeW4RS-kAU1A2ud8UxTkS5tWYecMgYokAGgbQMICGATQMoJlIAwA3xSNG7aIKp8-ODEwqs5xU5l-T6vb_UHJHXOF-8dGTLO6KtaPDN-GeWPdvj168PtyK8_UP-MQxYA
linkProvider Directory of Open Access Journals
openUrl ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info%3Aofi%2Fenc%3AUTF-8&rfr_id=info%3Asid%2Fsummon.serialssolutions.com&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal&rft.genre=article&rft.atitle=%D0%A4%D0%9E%D0%A0%D0%9C%D0%98%D0%A0%D0%9E%D0%92%D0%90%D0%9D%D0%98%D0%95+%D0%97%D0%90%D0%A9%D0%98%D0%A2%D0%9D%D0%9E%D0%99+%D0%A3%D0%93%D0%9B%D0%95%D0%A0%D0%9E%D0%94%D0%9D%D0%9E%D0%99+%D0%9F%D0%9B%D0%95%D0%9D%D0%9A%D0%98+%D0%9D%D0%90+%D0%9F%D0%9E-%D0%92%D0%95%D0%A0%D0%A5%D0%9D%D0%9E%D0%A1%D0%A2%D0%98+%D0%93%D0%A0%D0%90%D0%A4%D0%95%D0%9D%D0%90+%D0%9C%D0%95%D0%A2%D0%9E%D0%94%D0%9E%D0%9C+%D0%9F%D0%9B%D0%90%D0%97%D0%9C%D0%95%D0%9D%D0%9D%D0%9E%D0%93%D0%9E+%D0%9E%D0%A1%D0%90%D0%96%D0%94%D0%95%D0%9D%D0%98%D0%AF+%D0%98+%D0%A2%D0%95%D0%A0%D0%9C%D0%9E%D0%9E%D0%91%D0%A0%D0%90%D0%91%D0%9E%D0%A2%D0%9A%D0%98&rft.jtitle=%D0%9F%D0%BE%D0%BB%D0%B7%D1%83%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B9+%D0%B2%D0%B5%D1%81%D1%82%D0%BD%D0%B8%D0%BA&rft.au=%D0%9D%D0%B5%D1%83%D1%81%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%B5%D0%B2%2C+%D0%95%D1%84%D0%B8%D0%BC+%D0%9F%D0%B5%D1%82%D1%80%D0%BE%D0%B2%D0%B8%D1%87&rft.au=%D0%9A%D1%83%D1%80%D0%BA%D0%B8%D0%BD%D0%B0%2C+%D0%98%D1%80%D0%B8%D0%BD%D0%B0+%D0%98%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%BD%D0%B0&rft.au=%D0%9D%D0%B8%D0%BA%D0%BE%D0%BB%D0%B0%D0%B5%D0%B2%2C+%D0%94%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%BB+%D0%92%D0%B0%D0%BB%D0%B5%D1%80%D0%B8%D0%B5%D0%B2%D0%B8%D1%87&rft.date=2025-04-14&rft.issn=2072-8921&rft.issue=1&rft.spage=247&rft.epage=250&rft_id=info:doi/10.25712%2FASTU.2072-8921.2025.01.032&rft.externalDBID=n%2Fa&rft.externalDocID=10_25712_ASTU_2072_8921_2025_01_032
thumbnail_l http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/lc.gif&issn=2072-8921&client=summon
thumbnail_m http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/mc.gif&issn=2072-8921&client=summon
thumbnail_s http://covers-cdn.summon.serialssolutions.com/index.aspx?isbn=/sc.gif&issn=2072-8921&client=summon