Hochauflösende piezoresistive Siliziumsensoren auf der Basis halbleitertechnologischer Standardprozesse /
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis Book |
| Language: | German |
| Published: |
Stuttgart :
Universität,
1994
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| Edition: | [1. Aufl.] |
| Online Access: |
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| Physical Description: | 118 s. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; |
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