Atomic layer epitaxy growth of titanium, zirconium and hafnium dioxide thin films /
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| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Helsinki :
Suomalainen Tiedeakatemia,
1994
|
| Ausgabe: | [1st ed.] |
| Schriftenreihe: | II. Chemica : Series A
Vol. 257 |
| Schlagworte: | |
| ISBN: | 9514107551 |
| ISSN: | 0066-1961 |
| Online-Zugang: |
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