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Atomic layer epitaxy growth of titanium, zirconium and hafnium dioxide thin films /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ritala, Mikko
Weitere Verfasser:	Koskikallio, J. (HerausgeberIn)
Format:	Abschlussarbeit Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Helsinki : Suomalainen Tiedeakatemia, 1994
Ausgabe:	[1st ed.]
Schriftenreihe:	II. Chemica : Series A Vol. 257
Schlagworte:	kysličníkový supravodič > termodynamika > mechanika
ISBN:	9514107551
ISSN:	0066-1961
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