CHIMIČESKAJA OBRABOTKA I FOTOLITOGRAFIJA V PROIZVODSTVE POLUPROVODNIKOVYCH PRIBOROV I MIKROSCHEM /

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Mokejev, Oleg Konstantinovič
Weitere Verfasser: Romanov, Aleksandr Sergejevič, Dolgova, A. S. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Moskva : Vysšaja škola, 1985
Ausgabe:2. izd.
Online-Zugang: Volltext
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Beschreibung
Beschreibung:311 S. : grafy, lit., tab. ;

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