Allotaxie. Ein neues Verfahren zur Herstellung von Eisendisilizid- und Siliziumdioxid-Heterostrukturen in Silizium /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Skeide, Ottmar
Format: Thesis Book
Language:German
Published: Köln : Universität, 1994
Edition:[1. Aufl.]
Subjects:
Online Access: Get full text
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

MARC

LEADER 00000nam a2200000 4500
003 SK-BrCVT
005 20220617174654.0
008 940607s1994 gw e ||||||ger d
035 |a CVTIDW0921761 
040 |b slo  |a CVTI SR  |e AACR2 
041 0 |a ger 
044 |a gw 
080 |a 621.382:539.23(043.3)  |2 UDC-MRF 
080 |a 621.38.049.77(043.3)  |2 UDC-MRF 
100 1 |a Skeide, Ottmar 
242 1 0 |a Allotaxia. Nová metóda vytvárania heteroštruktúr silicidu železa a oxidu kremičitého v kremíku 
245 1 0 |a Allotaxie. Ein neues Verfahren zur Herstellung von Eisendisilizid- und Siliziumdioxid-Heterostrukturen in Silizium /  |c Ottmar Skeide 
250 |a [1. Aufl.] 
260 |a Köln :  |b Universität,  |c 1994 
300 |a 103 s. :  |b fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; 
502 |d 2. 2. 1994 
653 1 |a mikroelektronika  |a polovodičová vrstva 
910 |b A542265 
974 |f Knihy 
992 |a DDZ 
999 |c 79963  |d 79963