Ionenstrahlsynthese einkristalliner CoSi2-Schichten in Si und deren elektrische und strukturelle Charakterisierung /
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Köln :
Universität,
1993
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| Ausgabe: | [1. Aufl.] |
| Online-Zugang: |
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| Beschreibung: | 128 s. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; |
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