INTRODUCTION TO MICROLITHOGRAPHY : Theory, materials and processing /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Thompson, Larry F.
Weitere Verfasser: Willson, C. G. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Washington : American Chemical Society, 1983
Online-Zugang: Volltext
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MARC

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100 1 |a Thompson, Larry F. 
242 1 0 |a ÚVOD DO MIKROLITOGRAFIE 
245 1 0 |a INTRODUCTION TO MICROLITHOGRAPHY :  |b Theory, materials and processing /  |c Authors: Larry F. Thompson and Co. ; Red.: C. G. Willson 
260 |a Washington :  |b American Chemical Society,  |c 1983 
300 |a 7, 363 S. :  |b fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; 
700 1 |a Willson, C. G.  |4 edt 
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