INTRODUCTION TO MICROLITHOGRAPHY : Theory, materials and processing /
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| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Washington :
American Chemical Society,
1983
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MARC
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| 100 | 1 | |a Thompson, Larry F. | |
| 242 | 1 | 0 | |a ÚVOD DO MIKROLITOGRAFIE |
| 245 | 1 | 0 | |a INTRODUCTION TO MICROLITHOGRAPHY : |b Theory, materials and processing / |c Authors: Larry F. Thompson and Co. ; Red.: C. G. Willson |
| 260 | |a Washington : |b American Chemical Society, |c 1983 | ||
| 300 | |a 7, 363 S. : |b fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; | ||
| 700 | 1 | |a Willson, C. G. |4 edt | |
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| 974 | |f Knihy | ||
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