FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , |
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Moskva :
Radio i svjaz,
1984
|
| On-line přístup: |
|
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | SK-BrCVT | ||
| 005 | 20220617164325.0 | ||
| 008 | 870101s1984 rur e ||||||rus d | ||
| 035 | |a CVTIDW0910904 | ||
| 040 | |b slo |a CVTI SR | ||
| 041 | 0 | |a rus | |
| 044 | |a rur | ||
| 080 | |a 621.3.049.75:655.226.2 |2 UDC-MRF | ||
| 100 | 1 | |a Valijev, Kamil Achmetovič | |
| 242 | 1 | 0 | |a FYZIKÁLNE ZÁKLADY SUBMIKROMETROVEJ LITOGRAFIE V MIKROELEKTRONIKE |
| 245 | 1 | 0 | |a FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE / |c Kamil Achmetovič Valijev, Aleksandr Vasiľjevič Rakov ; Red.: V. M. Larionova |
| 260 | |a Moskva : |b Radio i svjaz, |c 1984 | ||
| 300 | |a 349 S. : |b grafy, lit., tab. ; | ||
| 700 | 1 | |a Rakov, Aleksandr Vasiľjevič | |
| 700 | 1 | |a Larionova, V. M. |4 edt | |
| 910 | |b A463736 | ||
| 974 | |f Knihy | ||
| 992 | |a AMG | ||
| 999 | |c 69157 |d 69157 | ||