APA (7th ed.) Citation

Valijev, K. A., Rakov, A. V., & Larionova, V. M. (1984). FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE. Radio i svjaz.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Valijev, Kamil Achmetovič, Aleksandr Vasiľjevič Rakov, and V. M. Larionova. FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE. Moskva: Radio i svjaz, 1984.

MLA (9th ed.) Citation

Valijev, Kamil Achmetovič, et al. FIZIČESKIJE OSNOVY SUBMIKRONNOJ LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE. Radio i svjaz, 1984.