Charakterisierung der Halbleiter/Isolator Grenzfläche von MIS-Strukturen mit Plasma-Silizium-Nitrid als Isolator /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Erlangen :
Universität,
1986
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| Online-Zugang: |
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| Beschreibung: | 133 s. |
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