Handbook of VLSI Microlithography Principles, Technology and Applications
Uloženo v:
| Médium: | Kniha |
|---|---|
| Jazyk: | slovenština |
| Vydáno: |
:
Elsevier,
1991
|
| Témata: | |
| ISBN: | 9780815512813 |
| On-line přístup: |
|
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | SK-BrCVT | ||
| 005 | 20220618105751.0 | ||
| 006 | m####e######000#0# | ||
| 007 | ta | ||
| 008 | 160520s###############e######000#0#slo#d | ||
| 020 | |a 9780815512813 | ||
| 035 | |a CVTIDW02567 | ||
| 040 | |a CVTISR |b slo |e AACR2 | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 080 | |a 763 | ||
| 080 | |a 53 | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Handbook of VLSI Microlithography |b Principles, Technology and Applications |c |h [elektronický zdroj] |
| 260 | |a : |b Elsevier, |c 1991 | ||
| 653 | 1 | |a VLSI |a ion |a x-ray |a optical | |
| 856 | 4 | |u http://ezproxy.cvtisr.sk/login.php?url=http://ezproxy.cvtisr.sk:2057/science/book/9780815512813 | |
| 910 | |b ZE00448 | ||
| 919 | |a 978-0-8155-1281-3 | ||
| 974 | |a gabriela.miklankova |f Elektronické zdroje | ||
| 999 | |c 258848 |d 258848 | ||