(2015). Nanotechnology: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (2nd ed.). Elsevier.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Nanotechnology: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. 2nd ed. : Elsevier, 2015.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Nanotechnology: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies. 2nd ed. Elsevier, 2015.
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