(2015). Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: A volume in Micro and Nano Technologies. Elsevier.
Citace podle Chicago (17th ed.)Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: A Volume in Micro and Nano Technologies. : Elsevier, 2015.
Citace podle MLA (9th ed.)Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies: A Volume in Micro and Nano Technologies. Elsevier, 2015.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..