HIGH VACUUM PRODUCTION IN THE MICROELECTRONICS INDUSTRY /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Duval, Pierre
Další autoři: Holland, L.
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Amsterdam : Elsevier, 1988
Edice:Plasma technology Vol. 2
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

MARC

LEADER 00000nam a2200000 4500
003 SK-BrCVT
005 20220617123328.0
008 890101s1988 ne e ||||||eng d
035 |a CVTIDW0878406 
040 |b slo  |a CVTI SR 
041 0 |a eng 
044 |a ne 
080 |a 621.38-181.4:533.5  |2 UDC-MRF 
100 1 |a Duval, Pierre 
242 1 0 |a VYSOKOVÁKUOVÁ VÝROBA V PRIEMYSLE MIKROELEKTRONIKY 
245 1 0 |a HIGH VACUUM PRODUCTION IN THE MICROELECTRONICS INDUSTRY /  |c Pierre Duval ; Red.: L. Holland 
260 |a Amsterdam :  |b Elsevier,  |c 1988 
300 |a 13, 222 S. :  |b fotogr., grafy, obr., tab. ; 
490 0 |a Plasma technology  |v Vol. 2 
692 |a Pc Sm PO 
700 1 |a Holland, L. 
760 1 |t Plasma technology  |g Vol. 2 
910 |b A492811 
974 |f Knihy 
992 |a AMG 
999 |c 25411  |d 25411 

Podobné jednotky