Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors

This book presents the fundamentals of the thermoelectrical effect in silicon carbide (SiC), including the thermoresistive, thermoelectric, thermocapacitive and thermoelectronic effects. It summarizes the growth of SiC, its properties and fabrication processes for SiC devices and introduces the ther...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Dinh, Toan (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Singapore : Springer Singapore , 2018.
Ausgabe:1st ed. 2018.
Schriftenreihe:SpringerBriefs in Applied Sciences and Technology,
Schlagworte:
ISBN:9789811325717
ISSN:2191-530X
Online-Zugang: Volltext
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