Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography

This book discusses physical design and mask synthesis of directed self-assembly lithography (DSAL). It covers the basic background of DSAL technology, physical design optimizations such as placement and redundant via insertion, and DSAL mask synthesis as well as its verification. Directed self-asse...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Shim, Seongbo (Autor)
Médium: Elektronický zdroj E-kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Cham : Springer International Publishing, 2018.
Vydání:1st ed. 2018.
Edice:NanoScience and Technology,
Témata:
ISBN:9783319762944
ISSN:1434-4904
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

Podobné jednotky