Micro Electro Mechanical Systems

This handbook volume aims to provide a comprehensive, self-contained, and authoritative reference in MEMS. It covers the theoretical and practical aspects including but not limited to sensors, actuators, RF MEMS, micro fluids and bio MEMS systems. It is particularly recommended to undergraduates, po...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Médium: Elektronický zdroj E-kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Singapore : Springer Singapore , 2018.
Vydání:1st ed. 2018.
Edice:Micro/Nano Technologies,
Témata:
ISBN:9789811059452
ISSN:2522-5065
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Obsah:
  • Device Physics
  • Scaling effect
  • Sensors
  • Actuators
  • RF MEMS
  • Micro fluid and bio MEMS
  • Integration techniques
  • Micro systems.