SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY. PRINCIPLES, PRACTICES, AND MATERIALS /
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York :
Plenum Press,
1988
|
| Ausgabe: | 2nd Ed. |
| Online-Zugang: |
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MARC
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| 245 | 1 | 0 | |a SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY. PRINCIPLES, PRACTICES, AND MATERIALS / |c Wayne M. Moreau |
| 250 | |a 2nd Ed. | ||
| 260 | |a New York : |b Plenum Press, |c 1988 | ||
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