OPTIKO-ELEKTRONNYJE METODY AVTOMATIZIROVANNOGO KONTROLJA TOPOLOGII IZDELIJ MIKROELEKTRONIKI /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Čechovič, Jevgenij Kazimirovič
Weitere Verfasser: Aljabjeva, I. A. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Minsk : Nauka i technika, 1989
Online-Zugang: Volltext
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Beschreibung
Beschreibung:212 S. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ;