TRUDY INSTITUTA OBŠČEJ FIZIKI. TOM 8. PROBLEMY LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Valijev, K. A.
Další autoři: Machuiladze, T. M. (Editor)
Médium: Kniha
Jazyk:ruština
Vydáno: Moskva : Nauka, 1987
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

MARC

LEADER 00000nam a2200000 4500
003 SK-BrCVT
005 20220617121359.0
008 880101s1987 rur e ||||||rus d
035 |a CVTIDW0872391 
040 |b slo  |a CVTI SR 
041 0 |a rus 
044 |a rur 
080 |a 621.38-181.4:763  |2 UDC-MRF 
100 1 |a Valijev, K. A. 
242 1 0 |a PRÁCE INŠTITÚTU VŠEOBECNEJ FYZIKY. ZV. 8. PROBLÉMY LITOGRAFIE V MIKROELEKTRONIKE 
245 1 0 |a TRUDY INSTITUTA OBŠČEJ FIZIKI. TOM 8. PROBLEMY LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /  |c Avtory: K. A. Valijev a kol. ; Red.: T. M. Machuiladze 
260 |a Moskva :  |b Nauka,  |c 1987 
300 |a 149 S. :  |b fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; 
692 |a Pc Sm LV 
700 1 |a Machuiladze, T. M.  |4 edt 
910 |b A486186 
974 |f Knihy 
992 |a AZN 
999 |c 21600  |d 21600 

Podobné jednotky