TRUDY INSTITUTA OBŠČEJ FIZIKI. TOM 8. PROBLEMY LITOGRAFII V MIKROELEKTRONIKE /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
Moskva :
Nauka,
1987
|
| On-line přístup: |
|
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
| Fyzický popis: | 149 S. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; |
|---|