Jaeger, R. C. (1988). INTRODUCTION TO MICROELECTRONIC FABRICATION. Addison-Wesley Publishing.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Jaeger, Richard C. INTRODUCTION TO MICROELECTRONIC FABRICATION. Reading: Addison-Wesley Publishing, 1988.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Jaeger, Richard C. INTRODUCTION TO MICROELECTRONIC FABRICATION. Addison-Wesley Publishing, 1988.
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