Journal of vacuum science and technology: B, Microelectronics processing and phenomena

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Médium: Seriál
Jazyk:angličtina
Vydáno: New York : American Institute of Physics
Témata:
vákuová technika > vákuum > vákuová fyzika > zrieďovanie vzduchu > zrieďovanie plynov > vývevy
ISSN:0734-211X
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
Popis
Popis jednotky:Vo fonde od roku:1983
Zmena period. Do r. 1986 štvrťročník; R. 1988 bol vyradený - strata; Index; Od r. 1990 zrušený.
Četnost vydávání:Dvojmesačník
ISSN:0734-211X

Podobné jednotky