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MEMS : design and fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Gad-el-Hak, Mohamed (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Boca Raton : Taylor & Francis, 2006
Ausgabe:	2nd ed.
Schriftenreihe:	Mechanical engineering series
Schlagworte:	mikroelektromechanický systém > gravimetrická citlivosť > optická diagnostická metrológia > polymérový mikrosystém > chemický senzor
ISBN:	0849391385
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