High rate plasma deposition of silicon oxide like films /
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| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Eindhoven :
Technická univerzita,
2002
|
| Ausgabe: | [1st ed.] |
| Schlagworte: | |
| ISBN: | 9038620098 |
| Online-Zugang: |
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MARC
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