Kirchauer, H. (2000). Photolitography simulation ([1st ed.].). Technická univerzita.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Kirchauer, Heinrich. Photolitography Simulation. [1st ed.]. Wien: Technická univerzita, 2000.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Kirchauer, Heinrich. Photolitography Simulation. [1st ed.]. Technická univerzita, 2000.
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