Ion implantation. Equipment and techniques : Proceedings of the 4th internat. conf., Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, Sept. 13 - 17, 1982 /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Korporativní autor: | |
| Médium: | Konferenční příspěvek Kniha |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Berlin :
Springer,
1983
|
| Edice: | Series in electrophysics
Vol. 11 |
| On-line přístup: |
|
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
| Fyzický popis: | 10, 556 s. |
|---|