IEEE international symposium on semiconductor manufacturing. Conference proceedings. 1999 : 8th internat. symp., Santa Clara, California, Oct. 11 - 13, 1999 /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Marcoux, Pierre
Korporativní autor: 8th internat. symp. California, Santa Clara
Médium: Konferenční příspěvek Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Piscataway : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1999
Vydání:[1st ed.]
Témata:
priemyselná technológia > výrobný nástroj > materiál > ochrana zdravia
ISBN:0780354036
ISSN:1523-553X
On-line přístup: Získat plný text
Tagy: Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!

MARC

LEADER 00000nam a2200000 4500
003 SK-BrCVT
005 20220617203121.0
008 000203s1999 xxu e ||||||eng d
020 |a 0780354036 
022 |a 1523-553X 
035 |a CVTIDW0952768 
040 |b slo  |a CVTI SR 
041 0 |a eng 
044 |a xxu 
080 |a 621.315.592.002.2  |2 UDC-MRF 
100 1 |a Marcoux, Pierre 
111 0 |a 8th internat. symp.  |d (Oct. 11 - 13, 1999 :  |c California, Santa Clara) 
242 1 0 |a Medzinárodné sympózium IEEE o výrobe polovodičov. Zborník z konferencie 
245 1 0 |a IEEE international symposium on semiconductor manufacturing. Conference proceedings. 1999 :  |b 8th internat. symp., Santa Clara, California, Oct. 11 - 13, 1999 /  |c Authors: Pierre Marcoux and Co. 
250 |a [1st ed.] 
260 |a Piscataway :  |b Institute of Electrical and Electronics Engineers,  |c 1999 
300 |a XI, 469 s. :  |b fotogr., grafy, lit., obr., tab. ; 
653 1 |a priemyselná technológia  |a výrobný nástroj  |a materiál  |a ochrana zdravia 
910 |b A572318 
919 |a 0-7803-5403-6 
974 |f Knihy 
992 |a AZN 
999 |c 114344  |d 114344 

Podobné jednotky