IEEE international symposium on semiconductor manufacturing. Conference proceedings. 1999 : 8th internat. symp., Santa Clara, California, Oct. 11 - 13, 1999 /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Marcoux, Pierre
Körperschaft: 8th internat. symp. California, Santa Clara
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Piscataway : Institute of Electrical and Electronics Engineers, 1999
Ausgabe:[1st ed.]
Schlagworte:
priemyselná technológia > výrobný nástroj > materiál > ochrana zdravia
ISBN:0780354036
ISSN:1523-553X
Online-Zugang: Volltext
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Beschreibung
Beschreibung:XI, 469 s. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ;
ISBN:0780354036
ISSN:1523-553X

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