Plazmatické techniky /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Brčka, Jozef
Format:	Buch
Sprache:	Slowakisch
Veröffentlicht:	Bratislava : Slovenská technická univerzita v Bratislave, 1996
Ausgabe:	1. vyd.
Schriftenreihe:	Edícia monografií
Schlagworte:	leptanie > povrch > tenká vrstva > senzor > optoelektronika > mikroelektronika
ISBN:	8022708194
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