Contamination control and cleanrooms. Problems, engineering solutions, and applications /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lieberman, Alvin
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: New York : Van Nostrand Reinhold, 1992
Ausgabe:[1st ed.]
Schlagworte:
dekontaminácia > plyn > chemikália > čistenie > optické meranie > usadzovanie častíc
ISBN:0442005741
Online-Zugang: Volltext
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Beschreibung
Beschreibung:VIII, 411 s. : fotogr., grafy, lit., obr., tab. ;
ISBN:0442005741

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