Simulation von Topographieprozessen in der Halbleiterfertigung /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Diplomová práce Kniha |
| Jazyk: | němčina |
| Vydáno: |
Wien :
Technická univerzita,
1995
|
| Vydání: | [1. Aufl.] |
| Edice: | Dissertationen
Band 68 |
| Témata: | |
| ISBN: | 385437092X |
| On-line přístup: |
|
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | SK-BrCVT | ||
| 005 | 20220617194557.0 | ||
| 008 | 960104s1995 au e ||||||ger d | ||
| 020 | |a 385437092X | ||
| 035 | |a CVTIDW0936286 | ||
| 040 | |b slo |a CVTI SR | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a au | ||
| 080 | |a 621.382:519.876.5:515.1 |2 UDC-MRF | ||
| 100 | 1 | |a Strasser, Ernst | |
| 242 | 1 | 0 | |a Simulácia procesov topografie vo výrobe polovodičov |
| 245 | 1 | 0 | |a Simulation von Topographieprozessen in der Halbleiterfertigung / |c Ernst Strasser |
| 250 | |a [1. Aufl.] | ||
| 260 | |a Wien : |b Technická univerzita, |c 1995 | ||
| 300 | |a 139 s. : |b grafy, lit., obr., tab. ; | ||
| 490 | 0 | |a Dissertationen |v Band 68 | |
| 502 | |d 17. 11. 1994 | ||
| 653 | 1 | |a mikroelektronika | |
| 692 | |a GM ML PO MM | ||
| 760 | 1 | |t Dissertationen |g Band 68 | |
| 910 | |b A551688 | ||
| 919 | |a 3-85437-092-X | ||
| 974 | |f Knihy | ||
| 992 | |a DDZ | ||
| 999 | |c 102144 |d 102144 | ||