Simulation von Topographieprozessen in der Halbleiterfertigung /
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Wien :
Technická univerzita,
1995
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| Ausgabe: | [1. Aufl.] |
| Schriftenreihe: | Dissertationen
Band 68 |
| Schlagworte: | |
| ISBN: | 385437092X |
| Online-Zugang: |
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| Beschreibung: | 139 s. : grafy, lit., obr., tab. ; |
|---|---|
| ISBN: | 385437092X |