Film deposition by plasma techniques /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Berlin :
Springer,
1992
|
| Vydání: | [1st ed.] |
| Edice: | Series on atoms and plasmas
Vol. 10 |
| Témata: | |
| ISBN: | 3540540571 |
| On-line přístup: |
|
| Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo vytvoří štítek k tomuto záznamu!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | SK-BrCVT | ||
| 005 | 20220617194254.0 | ||
| 008 | 951202s1992 gw e ||||||eng d | ||
| 020 | |a 3540540571 | ||
| 035 | |a CVTIDW0935712 | ||
| 040 | |b slo |a CVTI SR | ||
| 041 | 0 | |a eng | |
| 044 | |a gw | ||
| 080 | |a 533.9 |2 UDC-MRF | ||
| 080 | |a 541.183 |2 UDC-MRF | ||
| 100 | 1 | |a Konuma, Mitsuharu | |
| 242 | 1 | 0 | |a Nanášanie tenkých vrstiev plazmovými metódami |
| 245 | 1 | 0 | |a Film deposition by plasma techniques / |c Mitsuharu Konuma |
| 250 | |a [1st ed.] | ||
| 260 | |a Berlin : |b Springer, |c 1992 | ||
| 300 | |a IX, 224 s. : |b grafy, lit., obr., tab. ; | ||
| 490 | 0 | |a Series on atoms and plasmas |v Vol. 10 | |
| 653 | 1 | |a plazma |a kolízia |a excitácia |a ionizácia |a rekombinácia |a diagnostika |a modifikácia povrchu | |
| 692 | |a GM VD PR JM MM | ||
| 760 | 1 | |t Series on atoms and plasmas |g Vol. 10 | |
| 910 | |b A550930 | ||
| 919 | |a 3-540-54057-1 | ||
| 974 | |f Knihy | ||
| 992 | |a AMG | ||
| 999 | |c 101257 |d 101257 | ||